题    目：先进节点高性能电子器件的精准组装

主讲人：孙伟 教授（北京大学电子学院 国家杰青）

时  间：2023年4月20日（星期四）上午10:00 – 12:00

地   点：化学馆120报告厅

主讲人简介：

孙伟，博士（2008年）毕业于北京大学化学与分子工程学院。此后在哈佛大学从事博士后研究。2017年9月回到北京大学电子学院任教。孙伟课题组主要探索了晶圆尺度精准组装方法及其在未来高性能电子器件中的应用。曾在Science, Nature Chemistry等国际学术期刊发表研究论文三十余篇。先后获得国家杰出青年基金、北京市杰出青年基金等项目的资助。

讲座内容概要：

精准微纳加工方法是构筑先进节点高性能电子器件的基础。不同于常见的光刻微纳加工方法，以生物自组装为代表的精准组装策略，具有分子级结构精准度、复杂定制三维形貌等特点，从而具有突破光刻加工极限、实现高性能电子器件小型化的潜力。我们以晶圆尺度精准组装方法为基础，将器件特征尺度缩减至亚10原子尺度，关键结构间距小于目前的光刻加工极限。我们进一步探索了高性能、小尺寸电子器件的关键界面特征与结构—性能对应关系，突破了传统组装方法对先进节点电子器件的性能制约。基于合成生物学、纳米化学、半导体器件等多领域的交叉协同，我们为未来电子器件的发展探索了新的制备方法。